BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung. Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration. Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt. Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)